开关保护罩 SEMI紧急遮断用(EMO)

所谓SEMI 标准是指半导体制造装置、平面显示屏装置以及材料厂商构成的行业团体的行业规范。在半导体行业实际等于国际标准的效力。SEMI 标准（S2 0706） 12.1 项有以下记述：“装置中应设置「紧急遮断电路」（EMO 电路：Emergency Off 电路）。EMO 执行元件（按钮）动作时，为了避免对工作人员以及设备产生新的危险应将装置移至安全状态。”这是因为在上述作业现场使用多种溶剂以及药剂等，其中含有危险物质或有害物质等，若停止了处理用动力等可能引起二次危险。为此，SEMI 标准规定，为遮断包括动力的能源供给，除设置通常的紧急停止开关以外，必须设置能够维持其他相关装置（烟探知机、泄漏气体／水探知机，压力测定装置等）运转的紧急遮断开关。为防止误操作紧急遮断开关，需设置开关保护罩，要求开关具备直接开路动作，操作按钮为红色，且背景颜色为黄色，操作部表面必需标志EMO。