产品概述
可与SMEI紧急遮断用(EMO)开关配套使用的开关保护罩。
产品特点
·与开关保护罩配套使用时符合 SEMI S2 标准。
·可与 FB系列树脂制控制盒配套使用。
·直接开路动作结构。
·安全锁定结构(IEC60947-5-5; 6-2 项)
尺寸图
注意事项
所谓SEMI 标准是指半导体制造装置、平面显示屏装置以及材料厂商构成的行业团体的行业规范。在半导体行业实际等于国际标准的效力。SEMI 标准(S2 0706) 12.1 项有以下记述:“装置中应设置「紧急遮断电路」(EMO 电路:Emergency Off 电路)。EMO 执行元件(按钮)动作时,为了避免对工作人员以及设备产生新的危险应将装置移至安全状态。”这是因为在上述作业现场使用多种溶剂以及药剂等,其中含有危险物质或有害物质等,若停止了处理用动力等可能引起二次危险。为此,SEMI 标准规定,为遮断包括动力的能源供给,除设置通常的紧急停止开关以外,必须设置能够维持其他相关装置(烟探知机、泄漏气体/水探知机,压力测定装置等)运转的紧急遮断开关。为防止误操作紧急遮断开关,需设置开关保护罩,要求开关具备直接开路动作,操作按钮为红色,且背景颜色为黄色,操作部表面必需标志EMO。
使用案例
品牌介绍
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规格表