NK-7001 静电检测表 大气离子监测器
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NK-7001 静电检测表 大气离子监测器

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基本信息

大気イオンモニター NK-7001の特長

KSD-4000

KSD-4000

  • 電子デバイスの静電気耐性はますます低下し、イオナイザの設置台数も増えてきている。イオナイザは放電電極針の汚れや磨耗により除電性能の低下やイオンバランスの崩れが起きる。電子デバイスの帯電は、汚れや磨耗でバランスの崩れたイオナイザのイオンブローでも生じ、先端電子デバイスを破壊するレベルに達する。
  • 大気イオンモニタは、デバイスの対地静電容量とほぼ同じ静電容量を持つ帯電板(検出部)の電位を高い精度で測定し、イオナイザの設置時の効果確認や日常管理に最適な測定器。
  • 高電圧電源を内蔵し、ボタン1つで簡単にイオナイザの評価、管理が可能。
  • 小型検出プローブがセパレートになっているため、製造装置内に設置したイオナイザの評価等、狭い場所での測定ができ、手元で表示を見ることが可能。
  • デバイスと同程度の大きさ、静電容量での評価が可能。
  • 本体をコンパクトなハンディタイプにしたことにより、作業エリアへの持ち運びが大変便利。
  • ±0.1Vの高分解能で、イオンバランスの評価、管理が可能。

大気イオンモニター NK-7001の仕様

型式NK-7001
検出方式振動型表面電位センサ
減衰特性(1)1000V→100Vの時間 (2)200V→20Vの時間
表示範囲±0.1~±1999.9V 0.01~99.99sec
アナログ出力0~±1000.0mV
測定精度±5%+5カウント以内
環境温度0~40℃、湿度65%RH以下(結露なきこと)
電源 
尺寸
 
重量約600g(プローブ、乾電池含む)
附件KSD-AC2/ACアダプタ(AC100~240V)
KSD-REC/アナログ出力ケーブル(L=1000mm)

用途

  • 各種イオナイザの性能チェック。
  • 製造装置内などの狭い場所に設置したイオナイザの性能チェック。

各部の名称

KSD-4000

KSD-4000

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