自动滑台仪 高精度/自动XYZ轴式/交叉滚子型

  此款XYZ轴自动滑台的本体采用铝合金材质，本体表面进行黑色阳极氧化处理，不仅实现了轻量化，还能有效阻止光的反射，尤其适用于光学领域。导向方式采用交叉滚子导轨型结构，精度高。

特点1： 本体采用铝合金材质，实现轻量化。
特点2： 导向方式采用交叉滚子导轨型结构，精度高。
特点3： 本体表面处理采用黑色阳极氧化处理，能有效阻止光的反射，尤其适用于光学领域。

Type	材质	表面处理	移动量 （mm）	单向定位精度
XYZCR415	不锈钢	无电解镀镍	15	10um以内
XYZCR620			20	5um以内

附件：XYZCR415：SCB3－16 4个；XYZCR620：SCB4－16 4个

  滑台马达为C・F・G场合，需要配合DC24V驱动器（MSDR24-MS）、驱动器用电缆（MSDR24-CB）、滑台用电缆(如MSCB4B)，以及客户自备的24V电源、上位机(PLC或运动控制卡)使用，其各个产品之间的连接示例如下图所示｡

*1驱动器CN3引脚，只需要连接1-4，5-12可以不用连接便可正常使用。
上位机的针脚定义请咨询贵司使用的上位机品牌供货商。
上位机输出电压请设置为5V。超过5V时，需要串联一个电阻R1， 将电流降低到7~20mA以下 ，避免烧毁驱动器。
使用驱动器引脚11和12时，有信号输出。若输出电压超过DC24V，请串联一个电阻，使其电流降低至10mA以下，防止烧毁驱动器。
滑台传感器电源的具体电压规格烦请参考具体滑台商品说明【电气规格】参数。

分类1	分类2	型式（例）		数量	备注	页码
自动滑台本体	自动X轴滑台	XMSG413-LA5-C-N		1	自动X轴直线滚珠导轨型滑台	P.1713
控制部件	驱动器	MSDR24-MS		1	微步控制驱动器 输入电源：DC24V	P.1738
	DC24V电源	-		-	请客户自备
	控制设备 (PLC定位组件/PC＋运动控制卡等)	-		-	请客户自备
电缆	自动滑台本体⇔驱动器 (一端散线)	MSCB2B		1	一端散线的2m常规电缆 (*1)	P.1739
	驱动器用电缆(线束)	MSDR24-CB		1	驱动器用连接器已进行电缆配线，无需连接器的压接作业。	P.1738

(＊1)还可以选择4m、6m的电缆。
上表粉色背景中所需产品需要客户自备。
上表为使用PLC控制时的构成示例之一。其他构成示例请点击此处。

■自动滑台相关参数介绍请点击此处。
■控制器MSDR24-MS的使用说明书请点击此处。
■XCVL（XCVLC）系列自动滑台电气规格、外形尺寸、针排列、传感器位置介绍请点击此处。

■滑台使用环境
使用环境：10~50℃，20~70%RH（非结露）
推荐使用环境：22±5℃，20~70%RH（非结露）
请避免在如下环境中使用滑台产品

①粉尘环境（尤其是金属粉末） ③临近火源 ⑤飞溅水，油的环境 ⑦有机溶液，盐分较多的环境

②有阳光直射，热辐射的环境 ④有腐蚀性气体，可燃性气体的环境 ⑥有传到强震动与冲击的环境

■关于滑台的保养
  基于润滑脂的种类，以及使用环境的不同，并没有统一的定期保养标准。根据驱动条件以及导轨种类的不同，
请务必保证每月1次的频率进行润滑脂的确认。

  米思米自动滑台是研究开发、光学实验、电子部品等的检查、显微镜下的位置调整等适合亚微米的定位的「高精度定位滑台」和部品组装及搬送用途等用到的「经济型定位滑台」的展开。在阵容丰富的米思米自动滑台中更能找到适合客户规格需求的滑台。其根据运动方向，可分为直线运动、水平Z轴、测角仪、旋转4个运动方向的定位滑台。并且可根据客户自己的需求自由组合使其定位范围更加的广泛。

请按照选型步骤～选择型式和参数后进行订购。

型号(Type·No.)	－	传感器	－	马达	－	电缆
XYZCR415	－	L	－	C	－	N

■规格表

型号

传感器

马达

电缆

机械规格

精度规格＊3

Type

No.

盖板 位置

滑台面 (mm)

移动量 (mm)

自重＊2 (kg)

单向 定位精度

力矩刚性("/N·cm)

上下摆动

左右摇动

上下摆动

左右摇动

侧向滚动

XYZCR

415

L

C(标准) PA＊1(α步进)

N(无电缆、另售) P＊1(α步进用电缆) 关于另售的电缆 　请参阅MSCB□选择。

40×40

15

1.0

10μm以内

0.33

0.44

0.37

25"

20"

620

L R

C(标准) F(高转矩) G(高分辨率) PA＊1(α步进)

60×60

20

2.0

5μm以内

0.15

0.12

0.07

20"

15"

＊1马达选项P为与驱动器，组成一套。电缆选项仅可选P，不能选N(无电缆)。
＊2使用马达选项C时的值。
＊3单方向定位精度、力矩刚性为单轴的精度标准。

■通用规格

型号

415

620

进给丝杠

滚珠丝杠φ6、导程1

滚珠丝杠φ8、导程1

导轨

交叉滚子导轨

重复定位精度

±0.5μm以内

±0.3μm以内

耐负载*3

29.4N

无效运动

1μm以内

背隙

0.5μm以内

直线度

3μm以内

运动平行度

10μm以内

单轴（平方）时的规格。
 *4 耐负载为XY轴的值。

■马达·电缆对应表

马达				电缆
C，F，G				N(无)
PA				P

C,F,G用电缆请参照MSCB□

■最大速度

No.		马达选择				(mm/sec)
415		C				10
		PA				10
620		C				20
		F				20
		G				20
		PA				20

因客户的使用条件不同，速度、定位时间有所差异，敬请注意。
 仅为本公司规定的参考值，并不能保证动作。

■连接器针脚排列
·马达：C（标准）·F（高扭矩）·G（高分辨率）
共通连接器针脚排列


·马达：PA（α步进）
马达电缆型号：CC030VA2R2
传感器针脚排列


■接线图
·马达：C（标准）·F（高扭矩）·G（高分辨率）
共通连接器接线图


·马达：PA（α步进）
传感器接线图


■电气规格

马达

C

F

G

PA

标准

高扭矩

高分辨率

同步

马达

类型

5相步进马达 0.75A/相

α步进马达

型式

C005C-90215P-1

PK525HPB-C1

PK523HPMB-C1

ARM24SAK

步进角

0.72°

0.72°

0.36°

0.36°(设定1000P/R时)

驱动器型式

-

ARD-K

分辨率 (脉冲)

Full/Half

2μm/1μm

2μm/1μm

1μm/0.5μm

1μm(1000P/R设定时)

微步

0.1μm(1/20分割时)

0.1μm(1/20分割时)

0.05μm(1/20分割时)

-

连接器

型式

HR10A-10J-12P(73)(广濑电机(株))

HR10A-7J-6P(73)(广濑电机(株))

接收侧适用连接器

HR10A-10P-12S(73)(广濑电机(株))

HR10A-7P-6S(73)(广濑电机(株))

传感器

限位传感器

有

原点传感器(ORG1)

有

开口原点传感器(ORG2)

无

型式

微型光电传感器 EE-SX4320(欧姆龙(株))

电源电压

DC5~24V ±10%

消耗电流

合计60mA以下

控制输出

NPN开路集电极输出 DC5~24V 8mA以下 剩余电压0.3V以下（负载电流2mA时）

输出逻辑

检测（遮光）时：输出晶体管OFF（非导通）

传感器EE-SX4134已停止生产，从2018年11月起更新为EE-SX4320。

■时序图

移动量(mm)	坐标基准	机械限位	CW限位	原点端面 行程中心	反端面	CCW限位	机械限位
15	原点复位	8.5	7.7	0	2	7.7	8.5
20	原点复位	11	10.5	0	5	10.5	11

原点复位是指使用MSCTL102/112系列控制器进行原点复位Type4时。
坐标为设计值。可能会与实际尺寸有±0.5mm左右的误差。