自动滑台仪 高精度/自动XYZ轴式/直线式滚珠型

  米思米XYZMSG系列自动滑台的本体采用淬火不锈钢(相当于SUS440C)，进行无电解镀镍处理，不仅实现了高刚性，还有很强的防锈性能。导向方式上采用一体式直线滚珠导轨，实现了高精度，且单轴厚度仅为20mm，省空间。

特点1： 低价格。采用独特的生产方式，大幅降低了成本。
特点2： 省空间。导轨整体结构，单轴主体厚度仅仅20mm,省空间。
特点3： 高精度。在主体结构上直接加工导轨，上下面的平行度高。
特点4： 高刚性。上板和下板上直接加工双圆弧槽滚珠导轨，和钢珠四点接触，实现高刚性。

Type	材质	表面处理	移动量(mm)	耐负载(N)
XYZMSG413	不锈钢	无电解镀镍	13	49.0
XYZMSG513
XYZMSG615			15
XYZMSG715

附件：XYZMSG 413,513:SCB3－8 4个；XYZMSG 615,715:SCB4－8 4个

  滑台马达为C・F・G场合，需要配合DC24V驱动器（MSDR24-MS）、驱动器用电缆（MSDR24-CB）、滑台用电缆(如MSCB4B)，以及客户自备的24V电源、上位机(PLC或运动控制卡)使用，其各个产品之间的连接示例如下图所示｡

*1驱动器CN3引脚，只需要连接1-4，5-12可以不用连接便可正常使用。
上位机的针脚定义请咨询贵司使用的上位机品牌供货商。
上位机输出电压请设置为5V。超过5V时，需要串联一个电阻R1， 将电流降低到7~20mA以下 ，避免烧毁驱动器。
使用驱动器引脚11和12时，有信号输出。若输出电压超过DC24V，请串联一个电阻，使其电流降低至10mA以下，防止烧毁驱动器。
滑台传感器电源的具体电压规格烦请参考具体滑台商品说明【电气规格】参数。

分类1	分类2	型式（例）		数量	备注	页码
自动滑台本体	自动X轴滑台	XMSG413-LA5-C-N		1	自动X轴直线滚珠导轨型滑台	P.1713
控制部件	驱动器	MSDR24-MS		1	微步控制驱动器 输入电源：DC24V	P.1738
	DC24V电源	-		-	请客户自备
	控制设备 (PLC定位组件/PC＋运动控制卡等)	-		-	请客户自备
电缆	自动滑台本体⇔驱动器 (一端散线)	MSCB2B		1	一端散线的2m常规电缆 (*1)	P.1739
	驱动器用电缆(线束)	MSDR24-CB		1	驱动器用连接器已进行电缆配线，无需连接器的压接作业。	P.1738

(＊1)还可以选择4m、6m的电缆。
上表粉色背景中所需产品需要客户自备。
上表为使用PLC控制时的构成示例之一。其他构成示例请点击此处。

■自动滑台相关参数介绍请点击此处。
■控制器MSDR24-MS的使用说明书请点击此处。
■XCVL（XCVLC）系列自动滑台电气规格、外形尺寸、针排列、传感器位置介绍请点击此处。

■滑台使用环境
使用环境：10~50℃，20~70%RH（非结露）
推荐使用环境：22±5℃，20~70%RH（非结露）
请避免在如下环境中使用滑台产品

①粉尘环境（尤其是金属粉末） ③临近火源 ⑤飞溅水，油的环境 ⑦有机溶液，盐分较多的环境

②有阳光直射，热辐射的环境 ④有腐蚀性气体，可燃性气体的环境 ⑥有传到强震动与冲击的环境

■关于滑台的保养
  基于润滑脂的种类，以及使用环境的不同，并没有统一的定期保养标准。根据驱动条件以及导轨种类的不同，
请务必保证每月1次的频率进行润滑脂的确认。

  米思米自动滑台是研究开发、光学实验、电子部品等的检查、显微镜下的位置调整等适合亚微米的定位的「高精度定位滑台」和部品组装及搬送用途等用到的「经济型定位滑台」的展开。在阵容丰富的米思米自动滑台中更能找到适合客户规格需求的滑台。其根据运动方向，可分为直线运动、水平Z轴、测角仪、旋转4个运动方向的定位滑台。并且可根据客户自己的需求自由组合使其定位范围更加的广泛。

请按照选型步骤～选择型式和参数后进行订购。

型式	－	传感器选择	－	马达	－	电缆
XYZMSG413	－	RA5	－	C	－	N

■规格表

型号

传感器选择

马达

电缆

机械规格

精度规格*4

Type

No.

盖板位置

逻辑

电压 (V)

滑台面(mm)

移动量(mm)

自重*3 (kg)

单方向定位精度

上下摆动

左右摇动

XYZMSG

413

L(正向型) R(反向型)

A (全部N.C.) B (全部N.O.) C (限位开关为N.C.) (原点传感器为N.O.)

5*1 24*1

C(标准) D(高扭矩) E(高分辨率) MA*2(带制动器) PA*2(α步进) UA*2(AC伺服马达)

N(无电缆、另售) M*2(带制动器用) P*2(α步进用) U*2(伺服用电缆) 马达·电缆的组合请参照下表。

40×40

13

0.6

6μm以内

15"以内

10"以内

513

50×50

0.8

615

60×60

15

0.9

715

70×70

1.2

*1：传感器电压24V时，MSCTL102/112（控制器）无法启动。传感器电压选择5V时，施加5V以上的电压会导致损坏。
*2：马达选择MA、PA时要配套驱动器，选择UA时要配套放大器。电缆仅可选择各自对应的M、P、U，不可选择N（无电缆）。
*3：马达选择C时的值。
*4：单轴（水平放置）时的精度规格。

■马达·电缆对应表

马达	电缆
C，D，E	N(无)
MA	M
PA	P
UA	U

C,D,E用电缆请参照MSCB□

■最大速度因客户的使用条件不同，速度、定位时间有所差异，敬请注意。
 仅为本公司规定的参考值，并不能保证动作。

■共通规格

进给丝杠								滚珠丝杠φ6、导程1
导轨								直线滚珠导轨
分辨率*1								2μm/palse(Full) 1μm/palse(Half)
重复定位精度								±0.5μm以内
耐负载*6								49N
无效运动								1μm以内
背隙								0.5μm以内
平行度								15μm以内

 *1 指一个脉冲信号对应的滑台移动量。
单轴（水平放置）时的精度规格。

■电气规格
马达选择C、D、E时的规格。马达选择MA、PA、UA时的规格，请参照自动直线滚珠滑台的概要②。

马达			类型					5相步进马达 0.75A/相(东方马达(株))
			步进角					0.72°
接收侧连接器								HR10A-10P-12S(广濑电机(株))
传感器			消耗电流					100mA以下(每个传感器25mA)
			控制输出					NPN开路集电极输出 DC5~24V 16mA以下
								剩余电压0.4V以下(负载电流16mA时)
			输出逻辑					N.C.···入光时ON N.O.···遮光时ON <内部回路> K：发光侧阴极   V：受光侧电源+ A：发光侧阳极   O：输出          G：受光侧电源-

■附属传感器时序图（传感器逻辑A时） 

（单位：mm）
移动量	坐标基准	机械限位	CW限位	反端面	原点端面 行程中心	CCW限位	机械限位
13	原点复位	8	7.5	2	0	6.5	7
15	原点复位	9	8.5	2	0	7.5	8
30	原点复位	16.5	16	2	0	15	15.5
50	原点复位	26.5	26	2	0	25	25.5
共通	开口原点（检测）间隔 S=1

原点复位是指使用MSCTL102/112系列控制器进行原点复位Type3时。
坐标为设计值。可能会与实际尺寸有±0.5mm左右的误差。

■建议原点复位方法（使用MSCTL102/112时）

Type3	向CCW方向进行检测，执行ORG信号的CCW侧边的检测工序。
Type4	向CW方向进行检测，执行ORG信号的CW侧边的检测工序。
Type9	Type3执行完毕后，执行TIMING信号的CCW侧边的检测工序。
Type10	Type4执行完毕后，执行TIMING信号的CW侧边的检测工序。