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自动滑台 CAVE-X POSITIONER

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基本信息

规格表

FAQ

产品概述

米思米ZCV系列自动滑台的本体采用淬火不锈钢(相当于SUS440C)，进行无电解镀镍处理，不仅实现了高刚性，还有很强的防锈性能。导向方式上采用一体式直线滚珠导轨，实现了高精度。

产品特点

特点1：低价格。采用独特的生产方式，大幅降低了成本。
特点2：省空间。宽幅采用小型化，长度也采用省空间型。
特点3：高精度。在主体结构上直接加工导轨，上下面的平行度高。
特点4：高刚性。上板和下板上直接加工双圆弧槽滚珠导轨，和钢珠四点接触，实现高刚性。

规格概述

Type	材质	表面处理	移动量（mm）	耐负载（N）	单轴精度规格（μm）
					单向定位精度	直线度
ZCV	相当于SCM420	无电解镀镍	20~30	29.4	5以内	3以内

附件：SUS内六角螺栓M4-10　4个

■移动量
表示滑台面可动作的距离。（各产品页中，在行程中心位置进行图示。）

■耐负载
以滑台面中间可施加的最大负载、以最大速度可驱动的数值。

■单向定位精度
从基准点（行程端）在一个方向上以一定的间隔依次进行定位，在全行程内测量、计算各定位点的实测值（基准点到实际移动的位置）和理论值（指令的实际应移动的位置）之间的差，将其最大差定义为单方向定位精度。
米思米自动滑台单向定位精度示意图

■直线度
从基准点(行程端)在一个方向上以一定的间隔依次进行定位，在整个行程内测量各定位点的垂直、水平方向的直线偏差，将距离该代表直线的最大差值定义为直线度。

使用方法

滑台马达为C・D・E场合，需要配合DC24V驱动器（MSDR24-MS）、驱动器用电缆（MSDR24-CB）、滑台用电缆(如MSCB4B)，以及客户自备的24V电源、上位机(PLC或运动控制卡)使用，其各个产品之间的连接示例如下图所示｡
米思米自动滑台接线示意图

*1驱动器CN3引脚，只需要连接1-4，5-12可以不用连接便可正常使用。用。

上位机的针脚定义请咨询贵司使用的上位机品牌供货商。

上位机输出电压请设置为5V。超过5V时，需要串联一个电阻R1，将电流降低到7~20mA以下，避免烧毁驱动器。

使用驱动器引脚11和12时，有信号输出。若输出电压超过DC24V，请串联一个电阻，使其电流降低至10mA以下，防止烧毁驱动器。

滑台传感器电源的具体电压规格烦请参考具体滑台商品说明【电气规格】参数。

相关文件

■自动滑台相关参数介绍请点击

自动滑台技术资料。
■控制器MSDR24-MS的使用说明书请点击

5相步进马达驱动器使用说明书。
■XMSG系列自动滑台电气规格、外形尺寸、针排列介绍请点击

直线滚珠导轨型滑台概要。

注意事项

■滑台使用环境
使用环境：10~50℃，20~70%RH（非结露）
推荐使用环境：22±5℃，20~70%RH（非结露）
请避免在如下环境中使用滑台产品

①粉尘环境（尤其是金属粉末）	②有阳光直射，热辐射的环境
③临近火源	④有腐蚀性气体，可燃性气体的环境
⑤飞溅水，油的环境	⑥有传到强震动与冲击的环境
⑦有机溶液，盐分较多的环境

■关于滑台的保养
基于润滑脂的种类，以及使用环境的不同，并没有统一的定期保养标准。根据驱动条件以及导轨种类的不同，请务必保证每月1次的频率进行润滑脂的确认。

使用案例

米思米自动滑台是用于研究开发光学实验、电子部品等的检查、显微镜下的位置调整等。在阵容丰富的米思米自动滑台中能找到适合客户规格需求的滑台，根据运动方向，可分为直线运动、水平Z轴、测角仪、旋转4个运动方向的定位滑台，并且可根据客户自己的需求自由组合使其定位范围更加的广泛。

应用行业

电子/家电	汽车	医疗

智能手机	半导体	锂电池

尺寸图

规格表

型号	-	马达	-	电缆
ZCV620	-	C	-	N

■规格表

型号	马达	电缆	机械规格			单轴精度规格		精度规格
型号	马达	电缆	滑台面 (mm)	移动量 (mm)	自重*2 (kg)	单向定位精度	运动的直线度	运动的垂直度 (全行程)	上下摆动	左右摇动
ZCV620	C（标准） F（高扭矩） G（高分辨率） MA1（带制动器） PA2（α步进）	N（无电缆、另售） M（带制动器） P（α步进用）马达与电缆的组合请参考下表。	60×60	20	1.08	5μm以内	3μm	10μm以内	20″以内	15″以内
ZCV630	C（标准） F（高扭矩） G（高分辨率） MA1（带制动器） PA2（α步进）	N（无电缆、另售） M（带制动器） P（α步进用）马达与电缆的组合请参考下表。	60×70	30	1.18	5μm以内	3μm	15μm以内	20″以内	15″以内

*1选择马达MA、PA时驱动器是配套使用的。电缆可以各自选择对应的M和P，但不能选择N（无电缆）。
*2选择马达C时的值。
*3单轴（水平放置）的精度规格。

■马达、电缆对应表

马达	电缆
C，F，G	N(无)
MA	M
PA	P

C,F,G用电缆请参照MSCB□

■最大速度

马达选择	(mm/sec)
C	20
F	30
G	20
MA	25
PA	40

因客户的使用条件不同，速度、定位时间有所差异，敬请注意。
仅为本公司规定的参考值，并不能保证动作。

■通用规格

进给丝杠

滚珠丝杠φ8、导程1

导轨

直线滚珠导轨

分辨率*4

Full

2μm/脉冲(1μm/脉冲)*5

Half

1μm/脉冲(0.5μm/脉冲)*5

微步(1/20分割时)

0.1μm(0.05μm)

重复定位精度

±0.5μm以内

耐负载*6

29.4N

无效运动

1μm以内

背隙

1μm以内

直线度

3μm以内

平行度

15μm以内

运动平行度

10μm以内

单轴平放的规格。
*4 指一个脉冲信号对应的滑台移动量。
*5 括号内为选择马达G(高分辨率)时的数值。
*6 耐负载为Z轴的值。

■电气规格

马达

标准

高扭矩

高分辨率

带制动器

无失步

马达

类型

5相步进马达 0.75A/相(东方马达（株）)

α步进马达

步进角

0.72°

0.36°

0.72°

0.36°(设定1000P/R时)

连接器

接收侧适用连接器

HR10A-10P-12S(73)(广濑电机(株))

马达侧：5557-06P-210
电磁制动器侧：5557-02P-210(MOLEX)

43020-1000(MOLEX)

传感器

限位传感器

有

原点传感器

微型光电传感器 EE-SX4320(欧姆龙(株))

接近原点传感器

电源电压

DC5~24V ±5%

消耗电流

合计60mA以下

控制输出

NPN开路集电极输出 DC30V以下 10mA以下
残留电压0.3V以下（负载电流2mA时）

输出逻辑

检测（遮光）时：输出晶体管OFF（非导通）

传感器EE-SX4134已停止生产，从2018年11月起更新为EE-SX4320。

■时序图
【自动】CAVE-X POSITIONER 规格表

(单位：mm)

CW方向

CCW方向

	坐标基准	机械限位	CW限位	原点端面行程中心	反端面	CCW限位	机械限位
ZCV620	原点复位	11.5	10.5	0	5	10.5	11.5
ZCV630	原点复位	16.5	15.5	0	5	15.5	16.5

原点复位是指使用MSCTL102系列控制器进行原点复位Type4时。

坐标为设计值。可能会与实际尺寸有±0.5mm左右的误差。

■建议原点复位方法

Type3	向CCW方向进行检测，执行ORG信号的CCW侧边的检测工序。
Type4	向CW方向进行检测，执行ORG信号的CW侧边的检测工序。
Type9	Type3执行完毕后，执行TIMING信号的CCW侧边的检测工序。
Type10	Type4执行完毕后，执行TIMING信号的CW侧边的检测工序。

关于此商品的常见问题 (FAQ)

购买米思米自动滑台后，是否就可以直接使用？实际驱动还需要哪些附件配合使用吗？

客户除了购买米思米自动滑台本体之外，需要再购买驱动器和电缆（带刹车型马达的自动滑台除外）。另外，客户自行得准备24V电源及控制单元（如PLC定位组件/PC＋运动控制卡等）。

为何我购买的自动滑台运行时总是失步？

可能造成滑台马达失步的原因有静负荷过大或动负荷变动过大；起动脉冲频率过高（起步速度过快）；加速（减速）时间过短；受外部电磁干扰等，请逐一进行排查确认。

为何TIMING无信号？

TIMING无信号，是因为切换了C/S（步距角切换)。C/S切换必须在TIMING有信号时进行，所以最快的解决办法是电源关，再开后切换C/S。

为何马达自启动运转时的移动速度很缓慢？

这是因为平滑驱动功能的影响。请将平滑驱动功能设定为OFF后再确认。

马达没有励磁，马达的输出轴可以用手转动

可能原因有：马达线或电源线接线错误，请确认驱动器和马达短好电源的连接是否正确；电流调整钮调整错误，电流设定值过小时，马达扭矩会变小而造成运转不稳定，请恢复电流调整钮的出厂值之后再确认；A.W.OFF（励磁电流关）误设为ON，请调整至OFF，然后再确认马达是否有励磁。

什么是分辨率？分辨率的全步进、半步进、微步进是什么意思？

分辨率是指1个脉冲信号的滑台移动量。全步进是指滑台在步进马达1/1标准步进角下的进给运动。半步进是指滑台马达的步进角细分成1/2标准步进角下的进给运动。微步进是指滑台马达的步进角细分成1/N标准步进角下的进给运动（N为正整数1、2、2.5、4、5、8、10、20、25、40、50、80、100、125、200、250）。

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分类1	分类2	型式(例)	数量	备注	页码
自动滑台本体	自动X轴滑台	XMSG413－ LA5－C－N	1	自动X轴直线滚珠导轨型滑台	P.1713
控制部件	驱动器	MSDR24-MS	1	微步控制驱动器输入电源：DC24V	P.1738
	DC24V电源	－	－	请客户自备
	控制设备 (PLC定位组件/PC＋运动控制卡等)	－	－	请客户自备
电缆	自动滑台本体⇔驱动器 (一端散线)	MSCB2B	1	一端散线的2m常规电缆 (*1)	P.1739
电缆	驱动器用电缆(线束)	MSDR24－CB	1	驱动器用连接器已进行电缆配线，无需连接器的压接作业。	P.1738